光學鍍膜設備
應用范圍
主要用于鍍制增透膜、帶通膜和截止膜等各種膜系，能夠實現(xiàn)100層膜的超大型膜系鍍膜，也能滿足在樹脂鏡片上鍍制各種顏色的增透膜以及在太陽鏡片上鍍制紅、黃、藍、綠等顏色的反光膜，還適用于裝飾品的鍍膜，如七彩等顏色。
結構特點
1、配置電子束蒸發(fā)及電阻蒸發(fā)系統(tǒng)；
2、配置超大坩堝電子槍，整個蒸發(fā)過程中膜料表面平整，蒸發(fā)分布均勻；
3、配置石英晶體膜厚控制儀可實現(xiàn)成膜速度和鍍膜過程的自動控制；
4、配置大功率離子源，膜厚質量好；
5、總體結構設計合理，更符合工藝的要求，真空系統(tǒng)PLC自動控制，操作方便。
型號 ZS、ZZS-600 ZS、ZZS-800 ZS、ZZS-1000 ZS、ZZS-1200 ZS、ZZS-1380 結構形式 箱式前開門后置抽氣系統(tǒng) 真空室 650×600×700 800×800×800 1000×1000×1200 ф1200×1200 ф1380×1250 較限壓力 5×10-4Pa 6.7×10-4Pa 恢復真空時間 從1×105Pa抽至5×10-3Pa ≤ 20min 電 270Oe型槍 加速電壓(KV) 6,10 數(shù)量（套） 1 1,根據(jù)用戶需要可安裝2套 坩堝容積 20ml×4槽 22ml×4槽 功率(kW) 6 10 電 電阻蒸源 電壓（V）5,10 功率（kW） 2.5 2×2.5 2×5 水冷電較數(shù)量 2 對（交替蒸發(fā)） 2 對（同時蒸發(fā)） 工件架類型及尺 拱型夾具 拱型夾具ф740, 拱型夾具ф950, 拱型夾具 拱型夾具 烘 烤 功率(kW) 4.5 9 13.5 溫度℃ 350 數(shù)顯自動控溫 離子 轟擊 電壓(V) 3000 電流(mA) 300 真空系統(tǒng)配置 KT-400擴散泵2X-70,2X-4 KT-600擴散泵 KT-600擴散泵 KT-600 擴散泵 KT-800擴散泵 光學膜控控儀 垂真光路,透、反射控制，波長400nm-700nm 水冷系統(tǒng) 水壓(kpa) 約2.5×102 水溫(℃) ＜ 25 壓縮空氣（kpa） (4-6)×102 總功率（kW） 26 36 56 60 65
光學鍍膜設備主要技術參數(shù)
（寬×深×高）mm
子
束
蒸
發(fā)
源
阻
蒸
發(fā)
源
（mm）
ф580
星型夾具ф420×3
任選一種
星型夾具ф650×3
任選一種
ф1100
ф1250
機械泵
ZJ-600 羅茨泵
2X-70，2X-15
機械泵
ZJ-600羅茨泵
H-150，2X-15
機械泵
ZJ-600羅茨泵
H-150,2X-15
機械泵
ZJ-600羅茨泵
H-150,2X-15
機械泵
