產(chǎn)品簡(jiǎn)介

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黃光室是進(jìn)行IC晶片微影成像術(shù)的區(qū)域，將光阻材料利用旋鍍法被覆在晶園上，而后再放置于曝光機(jī)下進(jìn)行曝光，以使紫外線光源透過(guò)光罩照射于光阻而得到感光圖像，較后再以藥劑進(jìn)行顯影而得到實(shí)際圖像。

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早期曝光機(jī)的光源為全光譜光源，后演進(jìn)到G-LINE（436?mm）光源，目前較為廣泛使用的為I-LINE（436mm）光源，對(duì)于0.3ūm線寬以下的IC制程，則需采用深紫外線（deep?UV）248mm光源，甚至X光或電子束，目前光源較采用高壓水銀（汞）弧燈，由于其特性頻譜，所以須經(jīng)過(guò)濾光片以獲得所需的I－LINE(365mm)光線。

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為了避免光阻在曝光前、曝光后受到曝光機(jī)以外的光線照射而曝光，所以整個(gè)作業(yè)必須在黃光室下進(jìn)行，換言之，所有照明用的光源須加以過(guò)濾，照明燈底罩及各式隔間門及窗皆應(yīng)具有過(guò)濾波長(zhǎng)380mm紫外光的能力。但必須注意的一點(diǎn)，有些黃色透明板雖然具有黃光，但對(duì)于紫外光卻未完全隔絕，嚴(yán)格來(lái)說(shuō)，這是不合格的產(chǎn)品。因?yàn)槌１挥糜邳S光室的5mm?黃色壓克力板，在I－LINE（365mm）附近確有不少的穿透率。

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如需黃光膜的具體參數(shù)，請(qǐng)與我司聯(lián)系，謹(jǐn)防假冒。

聯(lián)系和經(jīng)營(yíng)進(jìn)口特種建材產(chǎn)品、檢驗(yàn)儀器、健康器械等，從事建筑室內(nèi)裝飾設(shè)計(jì)和施工服務(wù)。本公司擁有現(xiàn)代先進(jìn)的硬件設(shè)備，與國(guó)外高科技研究機(jī)構(gòu)和公司有著直接的關(guān)系，致力于將較先進(jìn)的高科技產(chǎn)品引進(jìn)國(guó)內(nèi)，為國(guó)內(nèi)相關(guān)企業(yè)提供產(chǎn)品和服務(wù)。目前主要產(chǎn)品有：玻璃建筑貼膜（太陽(yáng)隔熱膜/四季通用膜/內(nèi)裝飾貼膜/安全防爆膜）；防火延燒工程材料；本公司在此行業(yè)已有八年之久，積累了諸多工程經(jīng)驗(yàn)，愿能為你提供真實(shí)解決之道。