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石墨加工件常見問題以及養(yǎng)護方法

來源:信瑞達石墨 2015/5/8 15:30:16

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  隨著社會經濟的發(fā)展,很多單晶硅生產廠家在石墨熱場的應用都是比較熟練的,原因是有兩點:靠前、石墨氈保溫效果好,厚度達到100毫米,有效的保證了徑向梯度溫度可能小的條件,第二、熱長達的原因可以是石墨坩堝的厚度達到250毫米,扎樣可以是上中下保溫桶的口徑也會足夠大,有充分的縱向的散熱功能。眾所周知石墨坩堝使用方法上的存在的問題就會導致石墨坩堝使用時間減少,從而也給生產商自己增加了成本,信瑞達石墨有經驗制造石墨坩堝和熱場加工件,我們就來具體的聊一聊石墨熱場生產中的常見問題,我們應該怎樣應對。
  
  熱場的組成部分如加熱器、三瓣堝、石墨托、熱屏等均由石墨加工而成。在生產過程中,經常能碰到加熱器件損壞的現(xiàn)象,那么石墨器件損壞的原因是什么,應該采取什么樣的措施來延長石墨器件的壽命呢?石墨器件的損壞,主要有人為和劣化兩個方面的原因。人為方面只要加強管理,強化員工防范意識,就可以將損失降到較低點。這里主要討論劣化。首先我們來了解石墨的有關特性,1.耐高溫性,石墨的熔點較高,在真空為3850度,在低壓下升華,升華溫度為2200度,與一般材料不同,當溫度升高時石墨不但不軟化,強度反而增高,在2500度時,石墨的抗拉強度反而增加一倍。2.特殊的抗熱震性,石墨的熱膨脹性具有各向異性,因而宏觀膨脹系數(shù)不大,在溫度驟變的情況下,石墨的體積變化也不大,再加上其良好的導熱性能,因而石墨的抗熱震性良好。諸上兩點所述,石墨件應該能夠長時間的在高溫下穩(wěn)定工作。
  
  在通常情況下,瓣堝與其他石墨器件如保溫罩、加熱器相比,都是同樣的材料、同一個廠家、同樣的工作環(huán)境,為什么使用壽命遠遠低于保溫罩和加熱器呢?三瓣堝的斷裂主要原因來自于石英坩堝.1.由于熔硅的密度要大于固體硅,這樣在冷卻過程中,鍋底料會撐破石英坩堝,而石英坩堝是貼合于三瓣堝的,當石英坩堝破裂而產生的應力大于三瓣堝承受的應力時,三瓣堝就會斷裂,這就是為什堝底料剩余過多會撐破三瓣堝的原因。2.加熱時間過長、石英坩堝質量不過關、原料酸堿度未達到要求,會導致漏硅和滲硅,熔硅滲入三瓣堝之間的縫隙之間冷卻后一是撐壞三瓣堝,二是使三瓣堝相互粘接,在清爐時,使其分離有可能造成斷裂。3.在加熱過程中唯有三瓣堝的熱源來自兩個方面,一是加熱器的輻射,二是來自于石英坩堝的傳導,這就導致三瓣堝受熱不勻,加熱時沿某些方向膨脹,沿另一些方向收縮,從而導致三瓣堝斷裂。
  
  石墨熱場日常養(yǎng)護方法
  
  熱場是真空電阻爐的核心部分,它的好壞直接影響到爐子的性能及其運營成本。熱場的設計是多種多樣的,具體選擇哪一種設計方案,主要基于對工藝流程的具體分析。大多數(shù)真空電阻爐的熱場包括四個主要組成部分:加熱器及其連接部件、隔熱部件(或者反射屏)、熱場支撐部件、工件承載爐床。這些配件往往會由于材質的問題或者使用時間的問題常常需要做好定期更換,那么對于石墨熱場配件在哪些條件下需要更換,哪些條件下需要清洗呢?
  
  1、對于壽命已到更換期限的,原則上需要更換(或讓經驗豐富的人對其識別,決定其是否繼續(xù)使用)。對于沒到壽命更換且暫時不用者,要將其密封在塑料袋中,放入紙箱打包,注明爐號、爐數(shù)、更換原因、來源、日期,并妥善保。
  
  2、對于部分損壞(如三瓣壞一瓣)而又未到壽命期限的,可湊用或更換(對于只有幾爐的新三瓣堝由車間主管判斷后,決定是否使用,對能使用且能湊夠一套的湊用,對能使用但暫時不用的將其封存保管)。密封保存的再次使用時,建議使用在提純的爐子上。
  
  3、每次拆爐時,清理熱場氧化物,并把石墨件上的滲硅清理干凈,導流筒、保溫蓋要認真擦拭干凈,避免雜物污染原料事故。拿取石墨件,除注意人身安全外,還要小心輕放,注意石墨件安全。
  
  4、嚴格按操作規(guī)程升溫、化料、回熔、停爐等,保護好石墨件。每一爐拆爐后都要仔細清掃石墨配件,仔細檢查籽晶及各個石墨熱場配件的狀況,并做好詳細記錄。
  
  5、檢查石墨配件有無裂紋,特別是石墨坩堝、石墨托盤、、石墨坩堝桿有無裂紋,如出現(xiàn)裂紋應立即報告車間主管,并作出更換,對有沾硅的地方應作出判斷或報告車間主。在使用到預計使用壽命前的5爐以前由帶班班長負責檢查、審查。在使用到預計使用壽命前的5爐以后由車間主管負責檢查、審查。
  
  6、石墨配件使用壽命到期后,對逾期使用有可能造成重大損失的石墨配件(石墨托盤、坩堝桿、石墨坩堝)等部件先拆下來進行更變新品,更換下來的石墨配件進行封存,單晶車間、技術處和生產處會審后再進行處理,其他配件如加熱器、保溫筒、導流筒等要仔細檢查,看有無微小裂紋和缺點,原則上這些石墨配件如無上述缺點可以繼續(xù)使用。對于出現(xiàn)悶爐的石墨熱場配件要做好詳細記錄。
  
  7、對于出現(xiàn)事故的石墨熱場配件做好詳細記錄。對于有問題的石墨配件應做好詳細記錄,歸入的地點,以防混淆。
  
  以上就是有經驗生產石墨坩堝和石墨加工件的信瑞達石墨帶來的石墨熱場常見問題原因分析,如果要了解更多的信瑞達石墨的更多的新聞內容,請登錄信瑞達石墨官網,信瑞達石墨將竭誠為您服務!

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