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供應標題:中頻交流磁控濺射電源
價格:電儀
發(fā)布公司:唐山標先電子有限公司
供貨總量:
聯(lián)系人:陳小姐
發(fā)貨地點:河北 唐山 遵化市
發(fā)布時間:2024年04月29日
有效期至:2024年06月28日
在線詢盤:在線詢盤
產(chǎn)品綜合信息質量:未計算
性能:專業(yè)的鍍膜玻璃生產(chǎn)設備,效率高,產(chǎn)量高
用途:用于生產(chǎn)鍍膜玻璃等其他
英文名:Coated glass production line
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SS-T系列中頻磁控濺射電源工作于二級高頻變換模式,交流正弦輸出。電源輸出頻率設為典型的40KHZ。中頻濺射電源以兩個濺射靶作為負載,兩個靶交替工作,因此濺射靶一個濺射周期內(nèi)一半以上的時間為反向電壓截止濺射,使靶材表面積累電荷有的到充分泄放時,有利于抑制靶材弧光放電及表面中毒,特別適用于反應膜層環(huán)境使用。 |
|
電源功率范圍 |
10-120KW |
輸入電源 |
AC380V三相四線制50-60HZ±10% |
輸出方式 |
交流正弦波 |
輸出頻率 |
40KHz |
輸出電壓 |
空載1000V[有效值] |
輸出特性 |
恒流/恒功率 |
滅弧時間 |
≤3uS |
輸出穩(wěn)定率 |
1% |
冷卻方式 |
2-10KW風冷 10-120KW水冷 |
使用環(huán)境 |
環(huán)境溫度 0-40℃ 環(huán)境濕度 相對濕度≤85% 空氣清潔 無粉塵 無腐蝕性易燃性氣體 通風良好 |
冷卻水 |
清潔 不含礦物質及其他可溶性物質 水溫 20-30℃ 壓力 0.15±0.05Mpa |
通訊方式 |
模擬/RS485/RS232 |
說明:電源的輸出特性可根據(jù)使用需要作相應調整 |
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